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單晶硅片
發(fā)布時(shí)間:7/9/2010 5:23:44 PM 瀏覽:7367
      硅片主要由高純多晶硅經(jīng)特殊工藝高溫熔煉成一定形狀的硅方塊或硅圓棒,再經(jīng)多線切割而成薄片狀,以滿足后續(xù)加工的需要。硅片是目前光伏行業(yè)最重要的基體材料。
      宜昌南玻依托自身的硅材料基地,能夠最大限度的發(fā)揮硅材料資源的整合優(yōu)勢(shì),保障原材料品質(zhì)和供應(yīng)穩(wěn)定。隨著光伏產(chǎn)業(yè)的迅猛發(fā)展,處于光伏產(chǎn)業(yè)上游的硅片生產(chǎn)環(huán)節(jié)顯得越來(lái)越重要。為了降低成本,增大單位原料的產(chǎn)出,我們生產(chǎn)的高密度、高性能、輕薄高效的硅片成為了硅片市場(chǎng)的“新寵”。
      配圖:硅片廠房、硅片、硅片工藝流程等。
單晶硅片技術(shù)規(guī)格要求
         
通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)
A級(jí) B級(jí) 說(shuō)明
項(xiàng)目
物理性能 晶向 (100) ± 3° (100) ± 3°  
氧含量(atom/cm3) ≤1.0E+18 ≤1.0E+18  
碳含量(atom/cm3) ≤5.0E+16 ≤5.0E+16  
少子壽命(μs) τ≥10μs(鈍化后) τ≥10μs(鈍化后)  
導(dǎo)電類型 P P  
電阻率(Ω.Cm) 1-3;3-6 0.8-3;3-6  
幾何參數(shù) 邊長(zhǎng)(mm) 125×125±0.5 125×125±0.5  
對(duì)角線(mm) 165±0.5 165±0.5  
厚度(μm) 200±20 200±30  
TTV(μm) <30 ≤50  
翹曲度(μm) <50 <70  
同心度 任意兩弧的弦長(zhǎng)之差≤0.5mm 任意兩弧的弦長(zhǎng)之差≤1mm  
垂直度 90±0.3° 90±0.5°  
外觀質(zhì)量 崩邊 長(zhǎng)≤0.5 mm,
深≤0.3 mm
長(zhǎng)≤1 mm,
深≤0.5 mm
硅片邊緣破損,無(wú)論是否有穿透現(xiàn)象都視為崩邊
數(shù)量≤2個(gè)  
無(wú)V型口 無(wú)V型口
硅落 長(zhǎng)≤50mm,寬度≤100μm,深度不能延伸到硅片表面 長(zhǎng)寬不限,深度不能延伸到硅片表面 硅片邊緣有硅粉掉落、亮邊現(xiàn)象
線痕 中部≤17 μm,邊緣2mm內(nèi)≤20 μm ≤30 μm  
無(wú)密集線痕   密集線痕(每1cm上線痕的條數(shù)超過(guò)5條)
色差 無(wú) 有明顯色差  
污片 無(wú) 無(wú)明顯沾污,表面臟污≤10%  
位錯(cuò)(pcs/㎝2) ≤3000 ≤3000  
應(yīng)力片 無(wú) 無(wú)  
凹坑、缺口、裂紋、氣孔、臺(tái)階 無(wú) 無(wú)  

多晶硅片技術(shù)規(guī)格要求
         
通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)
A級(jí) B級(jí) 說(shuō)明
項(xiàng)目
物理性能 氧含量(atom/cm3) ≤1.0E+18 ≤1.0E+18  
碳含量(atom/cm3) ≤5.0E+17 ≤5.0E+17  
少子壽命(μs) τ≥2μs τ≥2μs  
導(dǎo)電類型 P P  
電阻率(Ω.Cm) 1-3 0.8-3  
幾何參數(shù) 邊長(zhǎng)(mm) 156×156±0.5 156×156±0.5  
厚度(μm) 200±20 200±30  
TTV(μm) <30 ≤50  
彎曲度(μm) <50 <70  
對(duì)角線(mm) 219.2±1.2 219.2±1.2  
倒角(mm) 1~2 0.8~2  
垂直度 90±0.3° 90±0.5°  
外觀質(zhì)量 崩邊 長(zhǎng)≤0.5 mm,
深≤0.3 mm
長(zhǎng)>1 mm,
深≤0.5 mm
硅片邊緣破損,無(wú)論是否有穿透現(xiàn)象都視為崩邊
數(shù)量≤2個(gè)  
無(wú)V型口 無(wú)V型口
硅落 長(zhǎng)≤50mm,寬度≤100μm,深度不能延伸到硅片表面 長(zhǎng)寬不限,深度不能延伸到硅片表面 硅片邊緣有硅粉掉落、亮邊現(xiàn)象
線痕 中部≤17 μm,邊緣2mm內(nèi)≤20 μm ≤30 μm  
無(wú)密集線痕   密集線痕(每1cm上線痕的條數(shù)超過(guò)5條)
色差 無(wú) 有明顯色差  
污片 無(wú) 無(wú)明顯沾污,表面臟污≤10%  
微晶(pcs/㎝2) 無(wú) ≤10  
應(yīng)力片 無(wú) 無(wú)  
凹坑、缺口、裂紋、氣孔、臺(tái)階 無(wú) 無(wú)  

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